光柵尺位移傳感器（簡(jiǎn)稱光柵尺），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺位移傳感器經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖，具有檢測(cè)范圍大，檢測(cè)精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如，在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。

      光柵尺位移傳感器按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。光柵尺位移傳感器是有標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床活動(dòng)部件上，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床固定部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺位移傳感器的結(jié)構(gòu)。

      光柵檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）。

      光柵測(cè)量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測(cè)量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴，且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率，需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分，目前（2006年）光柵尺位移傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，隨著光柵的移動(dòng)，莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測(cè)量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測(cè)量。

       在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi)，按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如，柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖，這在工業(yè)普通測(cè)控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量，即要檢測(cè)其大小，又要檢測(cè)其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2，為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖，需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較，就可以得到光柵尺的移動(dòng)方向。通過對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以得到光柵尺的位移和速度。

海德漢光柵尺應(yīng)用：

HEIDENHAIN海德漢讀數(shù)頭315420-04

HEIDENHAIN海德漢讀數(shù)頭ID:393000-07 升級(jí)ID:1144048-07

HEIDENHAIN海德漢光柵尺689694-09

HEIDENHAIN海德漢光柵尺231011-03

HEIDENHAIN海德漢光柵尺557649-19 停產(chǎn)，由689680-19替代

HEIDENHAIN海德漢光柵尺MT12W 12MM

HEIDENHAIN海德漢光柵尺LC493F 370mm 557644-07

HEIDENHAIN海德漢光柵尺LC493F 720mm 557644-14

HEIDENHAIN海德漢光柵尺MT12W  231011-03

HEIDENHAIN海德漢光柵尺243602-06

HEIDENHAIN海德漢光柵尺557677-08已停產(chǎn)，升級(jí)為760905-08

HEIDENHAIN海德漢光柵尺571613-14  停產(chǎn)，升級(jí)為770902-14

HEIDENHAIN海德漢光柵處理器EXE101 ID:536397-01

HEIDENHAIN海德漢光柵信號(hào)處理接頭291697-05

HEIDENHAIN海德漢光柵信號(hào)處理接頭291697-04

HEIDENHAIN海德漢光柵信號(hào)處理接頭291698-01

HEIDENHAIN海德漢光柵信號(hào)處理器EXE101

HEIDENHAIN海德漢耦合板324955-04停產(chǎn)， 替代型號(hào)：324955-17

HEIDENHAIN海德漢線纜312879-01

HEIDENHAIN海德漢線纜605419-01

HEIDENHAIN海德漢線纜LC493F/49 5F 12m sw 545547-12