海德漢敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。
典型應(yīng)用包括：
半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
PCB電路板組裝機(jī)
超高精度機(jī)床
高精度機(jī)床
測量機(jī)和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設(shè)備
直驅(qū)電機(jī)
| 系列 | 說明 |
|---|---|
| LIC | LIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_(dá)28 m和高速運(yùn)動(dòng)進(jìn)行絕對(duì)位置測量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。 |
| 系列 | 說明 |
|---|---|
| LIP 200 | LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號(hào)在讀數(shù)頭中被高倍頻細(xì)分且其計(jì)數(shù)功能將細(xì)分的信號(hào)轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣，借助參考點(diǎn)確定絕對(duì)原點(diǎn)。 |
| 系列 | 說明 |
|---|---|
| LIP | 超高精度 LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測量步距，*的精度和重復(fù)精度。掃描方式為干涉掃描，測量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。 |
| LIF | 高精度 LIF敞開式直線光柵尺的測量基準(zhǔn)是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵，采用干涉掃描方法。特點(diǎn)是精度高和重復(fù)精度高，安裝特別簡單，有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中（參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息"）。 |
| LIDA | 高速運(yùn)動(dòng)和大測量長度 LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用，支持多種安裝方式，安裝特別簡單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān)。 |
| PP | 二維坐標(biāo)測量 PP二維編碼器的測量基準(zhǔn)是平面DIADUR工藝制造的相位光柵，采用干涉掃描方法。用于測量平面中位置。 |
| LIP/LIF | 高真空和超高真空技術(shù) 我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息，參見“真空中應(yīng)用的直線光柵尺"產(chǎn)品信息。 以下敞開式直線光柵尺專用于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境。 • 高真空：LIP 481 V和LIF 481 V |
| 型號(hào) | 基線誤差 | 基體和安裝方式 | 細(xì)分誤差 | 測量長度 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 精度等級(jí) | 局部 | ||||
| LIC 4113 LIC 4193 | ± 3 μm ± 5 μm | ≤ ± 0.275 μm/ 10 mm | 玻璃或玻璃陶瓷光柵尺，嵌入在安裝面中 | ± 20 nm | 240 mm 至3040 mm |
| LIC 4115 LIC 4195 | ± 5 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)緊 | ± 20 nm | 140 mm 至 28440 mm |
| LIC 4117 LIC 4197 | ± 3 μm ± 5 μm ± 15 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定 | ± 20 nm | 240 mm 至 6040 mm |
| LIC 4119 LIC 4199 | ± 3 μm ± 15 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 20 nm | 70 mm 至 1020 mm |
| LIC 4119 FS | ± 3 μm ± 15 μm | ≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.) | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 20 nm | 70 mm 至 1820 mm |
| 型號(hào) | 基線誤差 | 基體和安裝方式 | 細(xì)分誤差 | 測量長度 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 精度等級(jí) | 局部 | ||||
| LIC 2117 LIC 2197 | ± 15 μm | 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定 | ± 2 μm | 120 mm 至 3020 mm | |
| LIC 2119 LIC 2199 | ± 15 μm | 鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上 | ± 2 μm | 120 mm 至 3020 mm | |
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